Dieses Hochleistungs-Vakuumspannfutter aus mikroporöser Aluminiumoxidkeramik ist konstruiert für die sichere, beschädigungsfreie Handhabung von Halbleiterwafern und Chips in ultrareinen Fertigungsumgebungen. Seine poröse Keramikstruktur sorgt für eine gleichmäßige Vakuumverteilung und garantiert eine stabile, ebene Einspannung dünner, zerbrechlicher Wafer ohne Verformungen oder Verunreinigungen.